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低频高灵敏度中性浮力式MEMS矢量水听器

刘源 王丽娟 郭楠 赵龙 张文栋 张国军

刘源, 王丽娟, 郭楠, 等. 低频高灵敏度中性浮力式MEMS矢量水听器[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27: 054102. doi: 10.11884/HPLPB201527.054102
引用本文: 刘源, 王丽娟, 郭楠, 等. 低频高灵敏度中性浮力式MEMS矢量水听器[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27: 054102. doi: 10.11884/HPLPB201527.054102
Liu Yuan, Wang Lijuan, Guo Nan, et al. Central buoyant MEMS vector hydrophone of low-frequency and high sensitivity[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2015, 27: 054102. doi: 10.11884/HPLPB201527.054102
Citation: Liu Yuan, Wang Lijuan, Guo Nan, et al. Central buoyant MEMS vector hydrophone of low-frequency and high sensitivity[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2015, 27: 054102. doi: 10.11884/HPLPB201527.054102

低频高灵敏度中性浮力式MEMS矢量水听器

doi: 10.11884/HPLPB201527.054102
详细信息
    通讯作者:

    张国军

Central buoyant MEMS vector hydrophone of low-frequency and high sensitivity

  • 摘要: 由中北大学研制的微机电系统(MEMS)矢量水听器具有小型化、低频性能好、灵敏度高、指向性好、价格低等特点,但目前该水听器对该低频水声信号的低频探测能力不够,所以进一步提高其灵敏度对水听器的未来的发展至关重要。在声学研究的基础上,提出了中性浮力微结构并确定其参数,该结构加大了外力的有效作用面积,从而提高水听器的灵敏度,采用ANSYS有限元对水听器性能进行仿真,为了验证其可靠性,在驻波场测试水听器的性能。结果表明,该水听器的灵敏度-175 dB,频响范围为20~500 Hz,满足对远距离船舶辐射噪声的探测要求,灵敏度响应曲线的起伏在1.5 dB以内,具有良好的8字型指向性,凹点深度为48.8 dB。
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出版历程
  • 收稿日期:  2015-01-15
  • 修回日期:  2015-02-09
  • 刊出日期:  2015-04-24

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