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基于多次平移的平面绝对检测仿真

马骅 陈波 任寰 刘旭 刘勇

马骅, 陈波, 任寰, 等. 基于多次平移的平面绝对检测仿真[J]. 强激光与粒子束, 2014, 26: 051009. doi: 10.11884/HPLPB201426.051009
引用本文: 马骅, 陈波, 任寰, 等. 基于多次平移的平面绝对检测仿真[J]. 强激光与粒子束, 2014, 26: 051009. doi: 10.11884/HPLPB201426.051009
Ma Hua, Chen Bo, Ren Huan, et al. Simulation analysis on absolute measurement of flat with multiple translation method[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2014, 26: 051009. doi: 10.11884/HPLPB201426.051009
Citation: Ma Hua, Chen Bo, Ren Huan, et al. Simulation analysis on absolute measurement of flat with multiple translation method[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2014, 26: 051009. doi: 10.11884/HPLPB201426.051009

基于多次平移的平面绝对检测仿真

doi: 10.11884/HPLPB201426.051009

Simulation analysis on absolute measurement of flat with multiple translation method

  • 摘要: 将待测面形表示为多项式的和,通过分别沿x,y向多次平移待检光学元件得到移动前后待测元件面形差,采用最小二乘法拟合多项式系数,得到待检光学元件的绝对面形。推导了多次平移法的理论公式,并进行了仿真实验,模拟了移动次数、移动间隔和采样点数对测量精度的影响。仿真结果表明:待测平面与初始平面残差图的均方根值为5.11810-13,理论误差达到高精度平面面形检测要求。
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-08-25
  • 修回日期:  2013-12-07
  • 刊出日期:  2014-05-04

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