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基于正交超声驻波场的粒子运动建模和控制

吴立群 叶玅宏 王亚星 林志朋 杨贤龙

袁明权, 雷强, 王雄. 微剪切应力传感器的加工工艺[J]. 强激光与粒子束, 2017, 29: 104103. doi: 10.11884/HPLPB201729.170128
引用本文: 吴立群, 叶玅宏, 王亚星, 等. 基于正交超声驻波场的粒子运动建模和控制[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27: 024111. doi: 10.11884/HPLPB201527.024111
Yuan Mingquan, Lei Qiang, Wang Xiong. Fabrication process of micro shear stress sensors[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2017, 29: 104103. doi: 10.11884/HPLPB201729.170128
Citation: Wu Liqun, Ye Miaohong, Wang Yaxing, et al. Modeling and controlling of particles’ motion based on dimensionally orthogonal ultrasonic standing waves[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2015, 27: 024111. doi: 10.11884/HPLPB201527.024111

基于正交超声驻波场的粒子运动建模和控制

doi: 10.11884/HPLPB201527.024111
详细信息
    通讯作者:

    吴立群

Modeling and controlling of particles’ motion based on dimensionally orthogonal ultrasonic standing waves

  • 摘要: 为了获得具有均匀的倒金字塔表面微结构的多晶硅,提出了一种新腐蚀加工方法。通过建立一个相互正交的超声驻波场,来协助硅的化学侵蚀并改善其对光的吸收能力。首先对硅片表面结构进行一些比较,在二维上建立网格状的数学模型。然后建立网格中粒子运动的控制理论模型,并进行仿真验证。最后设计实验用于检验超声驻波对粒子的运动控制效果。多晶硅侵蚀结果说明将超声驻波应用在网格化微加工上是可行、可靠的。
  • 期刊类型引用(2)

    1. 严朝军,吴迪. 集成光波导相控阵列中心偏检测方法. 吉林大学学报(工学版). 2024(04): 1099-1104 . 百度学术
    2. 马瑞浩,甘永东,李新阳,梅月,斯那卓玛,朱枫,贾启旺,吴天祎. 一种非稳腔激光器光瞳位置提取方法. 光子学报. 2023(06): 214-225 . 百度学术

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出版历程
  • 收稿日期:  2014-09-18
  • 修回日期:  2014-11-04
  • 刊出日期:  2015-01-27

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