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基于微机电系统技术的高性能集成型微富集器

孙建海 宁占武 马天军 朱小锋 崔大付 张璐璐 李辉 陈兴

孙建海, 宁占武, 马天军, 等. 基于微机电系统技术的高性能集成型微富集器[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27: 024124. doi: 10.11884/HPLPB201527.024124
引用本文: 孙建海, 宁占武, 马天军, 等. 基于微机电系统技术的高性能集成型微富集器[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27: 024124. doi: 10.11884/HPLPB201527.024124
Sun Jianhai, Ning Zhanwu, Ma Tianjun, et al. High performance integrated micro-fabricated pre-concentrator based on MEMS[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2015, 27: 024124. doi: 10.11884/HPLPB201527.024124
Citation: Sun Jianhai, Ning Zhanwu, Ma Tianjun, et al. High performance integrated micro-fabricated pre-concentrator based on MEMS[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2015, 27: 024124. doi: 10.11884/HPLPB201527.024124

基于微机电系统技术的高性能集成型微富集器

doi: 10.11884/HPLPB201527.024124
详细信息
    通讯作者:

    孙建海

High performance integrated micro-fabricated pre-concentrator based on MEMS

  • 摘要: 由于大部分环境样品的浓度非常低, 为了实现其直接检测, 提出将一种集成化的微型富集器应用到色谱系统中。富集器可实现色谱系统的进样与样品富集,能将色谱仪的检测限提高1~2个数量级。设计的富集器采用了高容量4平行通道结构,沟道内填充了高吸附率的Tenax-TA吸附材料,来实现对环境样品中挥发性有机化合物组分的富集。此外,为了密闭热解吸过程中所释放的组分,在微型富集器后集成了微型阀。试验结果表明,研制的微型富集器取得了15倍以上的富集因子。而且,通过微阀的控制,色谱峰的拖尾和峰展宽得到了有效的控制。因此,该微型富集器可广泛应用到环境样品的快速检测中,提高各检测器对复杂环境的适应能力。
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-10-22
  • 修回日期:  2014-11-19
  • 刊出日期:  2015-01-27

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