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Keating改良模型的硅纳米梁动态特性

张致彬 于虹 张鹏 陈宏博

张致彬, 于虹, 张鹏, 等. Keating改良模型的硅纳米梁动态特性[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27: 024149. doi: 10.11884/HPLPB201527.024149
引用本文: 张致彬, 于虹, 张鹏, 等. Keating改良模型的硅纳米梁动态特性[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27: 024149. doi: 10.11884/HPLPB201527.024149
Zhang Zhibin, Yu Hong, Zhang Peng, et al. Modified Keating model for dynamic characteristics of silicon nanobeam[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2015, 27: 024149. doi: 10.11884/HPLPB201527.024149
Citation: Zhang Zhibin, Yu Hong, Zhang Peng, et al. Modified Keating model for dynamic characteristics of silicon nanobeam[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2015, 27: 024149. doi: 10.11884/HPLPB201527.024149

Keating改良模型的硅纳米梁动态特性

doi: 10.11884/HPLPB201527.024149
详细信息
    通讯作者:

    于虹

Modified Keating model for dynamic characteristics of silicon nanobeam

  • 摘要: 提出一种用于分析硅纳米梁动态特性的改良型半连续体模型,对比传统的连续体理论,这种新模型使用了Keating势,并考虑了纳米梁在宽厚两个维度的分立特性。依据Sun-Zhang模型思想和能量守恒定律,建立了改良型Keating模型,并进行了双端固支梁的基频计算。在这个过程中,对一些表面效应也进行系统分析。结果表明,该改良模型一方面在纳米尺度下与Material StudioTM软件仿真结果较为符合,另一方面也能在微观尺度下较好的接近连续体模型的计算数据。同时,该模型还反映了基频随纳米梁宽度变化的特性,这也符合一些实际实验。
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-09-18
  • 修回日期:  2014-10-24
  • 刊出日期:  2015-01-27

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