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提高光通量的软X射线非周期多层膜的数值模拟

,  柯常军,  王占山,  张铁强,  曹健林,  陈星旦

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柯常军, 王占山, 等. 提高光通量的软X射线非周期多层膜的数值模拟[J]. 强激光与粒子束, 1999, 11(01).
引用本文: 柯常军, 王占山, 等. 提高光通量的软X射线非周期多层膜的数值模拟[J]. 强激光与粒子束, 1999, 11(01).
shu
ke changjun, zhang tieqiang, wang zhanshan, et al. NUMERICAL SIMULATION OF DISORDER SOFT XRAY MULTILAYER FOR A MAXIMUM INTEGRATED REFLECTIVITY[J]. High Power Laser and Particle Beams, 1999, 11.
Citation: ke changjun, zhang tieqiang, wang zhanshan, et al. NUMERICAL SIMULATION OF DISORDER SOFT XRAY MULTILAYER FOR A MAXIMUM INTEGRATED REFLECTIVITY[J]. High Power Laser and Particle Beams, 1999, 11.
shu

提高光通量的软X射线非周期多层膜的数值模拟

  • 1.

    吉林工业大学应用物理系, 长春 1 30025;

  • 2.

    中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室, 长春1 30022

NUMERICAL SIMULATION OF DISORDER SOFT XRAY MULTILAYER FOR A MAXIMUM INTEGRATED REFLECTIVITY

  • 1.

    Department of Applied Physics,Jilin University of Technology,Changchun 130025;

  • 2.

    The State Key Laboratory of Applied Optics,Changchun Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Science ,Changchun 130022

    摘要
  • 摘要: 在周期多层膜基础上，采用随机数方法找到适当的非周期膜系， 极大地提高了反射光通量，并给出了整体设计步骤。模拟计算结果表明非周期多层膜能扩展带宽和提高反射率积分值。在12.4～20.1nm波段内，最佳非周期多层膜与峰值在中心波长λ=16.25nm处 的周期多层膜相比，理论积分反射率提高了75%。多个多层膜组成系统的积分强度无明显改善。
    Abstract: A random method used for improving light throughput of a soft Xray multilayer mirror has been developed. It is demon strated that layer thickness disorder yields band broadening and increased integrated reflectivity,and achieved 75% increase in integrated reflctivity in the 12.4～20.1nm spectral range with respect to periodic multilayer with its first Bragg peak in the center of that range．
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  • 刊出日期:  1999-01-15

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