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X光多层膜反射镜的损伤与破坏实验研究

淳于书泰 谷渝秋 尤永禄 黄文忠 何颍玲 马月英 裴舒 曹建林

淳于书泰, 谷渝秋, 尤永禄, 等. X光多层膜反射镜的损伤与破坏实验研究[J]. 强激光与粒子束, 1999, 11(04).
引用本文: 淳于书泰, 谷渝秋, 尤永禄, 等. X光多层膜反射镜的损伤与破坏实验研究[J]. 强激光与粒子束, 1999, 11(04).

X光多层膜反射镜的损伤与破坏实验研究

  • 摘要: 产生X光激光的等离子体环境对X光多层膜反射镜造成损伤与破坏。通过模拟实验,给出国产Mo/Si多层膜反射镜的破坏阈值大约是0.10J/cm2,在这个辐照剂量下,多层膜表面均方粗糙度明显增加,反射率几乎降至为零。提出了防止多层膜反射镜破坏的一些想法。
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出版历程
  • 刊出日期:  1999-08-15

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