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高折射率光学薄膜的化学法制备研究

沈军 张勤远 杨天河 王珏 周斌 邓忠生 陈玲燕

沈军, 张勤远, 杨天河, 等. 高折射率光学薄膜的化学法制备研究[J]. 强激光与粒子束, 1999, 11(05).
引用本文: 沈军, 张勤远, 杨天河, 等. 高折射率光学薄膜的化学法制备研究[J]. 强激光与粒子束, 1999, 11(05).

高折射率光学薄膜的化学法制备研究

  • 摘要: 报道了一种以ZrOC12·8H2O为源,溶胶-凝胶法制备高激光负载高折射率薄膜的新方法。薄膜采用旋转镀膜法制备,对薄膜的结构、光学特性及激光损伤阈值进行了测量,有机粘接剂对薄膜折射率及机械强度的影响也作了探讨。以该薄膜与SiO2溶胶凝胶膜交替涂覆制成的多层高反膜,剩余透过率仅0.98%,激光损伤阈值达16J/cm2(3ns)。
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出版历程
  • 刊出日期:  1999-10-15

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