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Al/Cu阻抗匹配状态方程测试靶制备工艺研究

谢军 吴卫东 杜凯 叶成钢 黄丽珍 郑凤成 李朝阳 马小军 袁光辉 朱磊

谢军, 吴卫东, 杜凯, 等. Al/Cu阻抗匹配状态方程测试靶制备工艺研究[J]. 强激光与粒子束, 2005, 17(09).
引用本文: 谢军, 吴卫东, 杜凯, 等. Al/Cu阻抗匹配状态方程测试靶制备工艺研究[J]. 强激光与粒子束, 2005, 17(09).
xie jun, wu wei-dong, du kai, et al. Fabrication technology of Al/Cu impedance match EOS measurement target[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2005, 17.
Citation: xie jun, wu wei-dong, du kai, et al. Fabrication technology of Al/Cu impedance match EOS measurement target[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2005, 17.

Al/Cu阻抗匹配状态方程测试靶制备工艺研究

Fabrication technology of Al/Cu impedance match EOS measurement target

  • 摘要: 采用轧制技术和真空扩散连接技术,成功实现了Al/Cu阻抗匹配状态方程测试靶的制备,通过原子力显微镜(AFM)、扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、台阶仪等测试方法,对样品结构及表面质量进行分析。结果表明:通过轧制技术制备的金属薄膜表面质量较好,表面粗糙度小于25 nm;扩散连接铝铜薄膜界面结合良好,为连续连接,扩散界面控制在150 nm以内。
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  • 刊出日期:  2005-09-15

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