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埋点靶中CH薄膜的制备工艺研究

张占文 吴卫东 许华 余斌 黄勇 魏胜

张占文, 吴卫东, 许华, 等. 埋点靶中CH薄膜的制备工艺研究[J]. 强激光与粒子束, 2001, 13(01).
引用本文: 张占文, 吴卫东, 许华, 等. 埋点靶中CH薄膜的制备工艺研究[J]. 强激光与粒子束, 2001, 13(01).
zhang zhan-wen, wu wei-dong, xu hua, et al. Study on the Fabrication Technology of the CH Film in Microspot Targets[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2001, 13.
Citation: zhang zhan-wen, wu wei-dong, xu hua, et al. Study on the Fabrication Technology of the CH Film in Microspot Targets[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2001, 13.

埋点靶中CH薄膜的制备工艺研究

Study on the Fabrication Technology of the CH Film in Microspot Targets

  • 摘要: CH薄膜的制备是埋点靶制备的关键技术之一,本文主要研究了钨丝辅助裂解制备CH薄膜的制备工艺。研究表明蒸发舟温度和衬底温度对沉积速率影响较大,而衬底距离对沉积速率影响较小;红外光谱和质谱分析表明薄膜的主要成分是聚对二甲苯。
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出版历程
  • 刊出日期:  2001-02-15

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