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不同环境中X射线激光Yb靶表面氧化研究

吴永刚 陈玲燕 张哲 魏军明 秦树基 唐伟星

吴永刚, 陈玲燕, 张哲, 等. 不同环境中X射线激光Yb靶表面氧化研究[J]. 强激光与粒子束, 2000, 12(02).
引用本文: 吴永刚, 陈玲燕, 张哲, 等. 不同环境中X射线激光Yb靶表面氧化研究[J]. 强激光与粒子束, 2000, 12(02).

不同环境中X射线激光Yb靶表面氧化研究

  • 摘要: 用电子束蒸发方法淀积制备X射线激光稀土元素Yb薄膜靶,将薄膜靶在不同的环境气氛中进行氧化。用X射线光电子谱(XPS)、俄歇电子谱(AES)和X射线衍射(XRD)方法研究了Yb薄膜靶表面氧化层的元素价态、组分和微观结构。发现薄膜表面氧化层中存在分层结构,干燥空气中储存的Yb薄膜表面氧化层由表及里的组分依次为化学吸附水、氢氧化物、氧化物及金属元素。表面氢氧化物和氧化物以非晶态形式存在。潮湿空气中水分是薄膜靶氧化速率增加的主要原因。
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  • 刊出日期:  2000-04-15

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