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ZrO2/ SiO2多层膜的化学法制备研究

杨帆 沈军 吴广明 孙骐 付甜 张志华 王珏

杨帆, 沈军, 吴广明, 等. ZrO2/ SiO2多层膜的化学法制备研究[J]. 强激光与粒子束, 2003, 15(04).
引用本文: 杨帆, 沈军, 吴广明, 等. ZrO2/ SiO2多层膜的化学法制备研究[J]. 强激光与粒子束, 2003, 15(04).
yang fan, shen jun, wu guang-ming, et al. Preparation of ZrO2/ SiO2 multilayer f ilms via chemical methods[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2003, 15.
Citation: yang fan, shen jun, wu guang-ming, et al. Preparation of ZrO2/ SiO2 multilayer f ilms via chemical methods[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2003, 15.

ZrO2/ SiO2多层膜的化学法制备研究

Preparation of ZrO2/ SiO2 multilayer f ilms via chemical methods

  • 摘要: 分别以ZrOCl2·8H2O 和正硅酸乙酯为原料,采用溶胶-凝胶工艺制备了性能稳定的ZrO2和SiO2溶胶。用旋转镀膜法分别在K9玻璃和单晶硅片上制备了ZrO2/ SiO2多层膜。采用溶剂替换和紫外光处理等手段,有效地解决了ZrO2/SiO2多层膜中膜层开裂和膜间渗透等问题。应用扫描电子显微镜观测了薄膜的表面和剖面微观形貌,并用椭偏仪测得薄膜的厚度和折射率,研究了薄膜厚度、折射率与热处理温度、紫外光处理时间的关系,对所获得薄膜的紫外-可见、红外光谱进行了分析。用输出波长1064nm ,脉宽15ns 的电光调Q光系统产生的强激光进行了单层膜的辐照实验,结果发现溶剂替换后激光损伤阈值有所提高。
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出版历程
  • 刊出日期:  2003-04-15

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