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均匀软X射线多层膜制备方法研究

金春水 林强 马月英 裴舒 曹健林

金春水, 林强, 马月英, 等. 均匀软X射线多层膜制备方法研究[J]. 强激光与粒子束, 2003, 15(05).
引用本文: 金春水, 林强, 马月英, 等. 均匀软X射线多层膜制备方法研究[J]. 强激光与粒子束, 2003, 15(05).
jin chun-shui, lin qiang, ma yue-ying, et al. Study of uniform soft X-ray multilayers deposition technology[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2003, 15.
Citation: jin chun-shui, lin qiang, ma yue-ying, et al. Study of uniform soft X-ray multilayers deposition technology[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2003, 15.

均匀软X射线多层膜制备方法研究

Study of uniform soft X-ray multilayers deposition technology

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出版历程
  • 刊出日期:  2003-05-15

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