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电子束、离子辅助和离子束溅射三种工艺对光学薄膜性能的影响

王英剑 李庆国 范正修

王英剑, 李庆国, 范正修. 电子束、离子辅助和离子束溅射三种工艺对光学薄膜性能的影响[J]. 强激光与粒子束, 2003, 15(09).
引用本文: 王英剑, 李庆国, 范正修. 电子束、离子辅助和离子束溅射三种工艺对光学薄膜性能的影响[J]. 强激光与粒子束, 2003, 15(09).
wang ying jian, li qing guo, fan zheng xiu. Property comparison of optical thin films prepared by Ebeam,ion assisted deposition and ion beam sputtering[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2003, 15.
Citation: wang ying jian, li qing guo, fan zheng xiu. Property comparison of optical thin films prepared by Ebeam,ion assisted deposition and ion beam sputtering[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2003, 15.

电子束、离子辅助和离子束溅射三种工艺对光学薄膜性能的影响

Property comparison of optical thin films prepared by Ebeam,ion assisted deposition and ion beam sputtering

  • 摘要: 运用电子束、离子辅助和离子束溅射三种镀膜工艺分别制备光学薄膜,包括单层氧化物薄膜和增透膜,然后采取一系列测试手段,如Zygo轮廓仪、原子力显微镜、表面热透镜技术和X射线衍射等技术,来分析和研究不同的工艺对这些薄膜性能的不同影响,以判断合理的沉积工艺。
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  • 刊出日期:  2003-09-15

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