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10 kV等离子体表面改性高压脉冲电源

巩春志 田修波 曹珍恩 朱宗涛 杨士勤

巩春志, 田修波, 曹珍恩, 等. 10 kV等离子体表面改性高压脉冲电源[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19(11).
引用本文: 巩春志, 田修波, 曹珍恩, 等. 10 kV等离子体表面改性高压脉冲电源[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19(11).
gong chun-zhi, tian xiu-bo, cao zhen-en, et al. 10 kV high voltage pulse power supply for plasma surface modification[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19.
Citation: gong chun-zhi, tian xiu-bo, cao zhen-en, et al. 10 kV high voltage pulse power supply for plasma surface modification[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19.

10 kV等离子体表面改性高压脉冲电源

10 kV high voltage pulse power supply for plasma surface modification

  • 摘要: 研制的10 kV高压脉冲电源采用脉冲单元叠加技术,将12组相互独立的各脉冲单元模块串联起来,采用同步驱动技术,实现了10 kV的高压脉冲输出。可通过增减脉冲单元的数量,满足不同输出电压的需要,实现了模块化设计。该电源的性能指标为:脉冲电压幅值0.1~10.0 kV,脉冲频率0.2~2.0 kHz,脉冲占空比5%~30% ,脉冲电流幅值20 A,脉冲功率200 kW。试验结果表明:在等离子体负载条件下电源运行稳定、可靠。
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出版历程
  • 刊出日期:  2007-11-15

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