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线性共蒸法制备非均匀膜的误差特性模拟分析

沈自才 孔伟金 邵建达 范正修

沈自才, 孔伟金, 邵建达, 等. 线性共蒸法制备非均匀膜的误差特性模拟分析[J]. 强激光与粒子束, 2005, 17(06).
引用本文: 沈自才, 孔伟金, 邵建达, 等. 线性共蒸法制备非均匀膜的误差特性模拟分析[J]. 强激光与粒子束, 2005, 17(06).
shen zi-cai, kong wei-jin, shao jian-da, et al. Simulation analysis of error characteristic of inhomogeneous coatings prepared by linear co-evaporation[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2005, 17.
Citation: shen zi-cai, kong wei-jin, shao jian-da, et al. Simulation analysis of error characteristic of inhomogeneous coatings prepared by linear co-evaporation[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2005, 17.

线性共蒸法制备非均匀膜的误差特性模拟分析

Simulation analysis of error characteristic of inhomogeneous coatings prepared by linear co-evaporation

  • 摘要: 对双源线性共蒸法制备的非均匀薄膜折射率分布与光学特性的关系作了探讨,并与均匀介质膜的光学特性作了对比;从折射率正变和负变两个方面,讨论了混合介质膜折射率不同变化规律对光学性能带来的影响;讨论了厚度误差和折射率极值误差对非均匀膜光学性能的影响。结果发现:折射率变化规律误差主要对非均匀膜的应用波段范围产生影响,而膜层厚度误差和折射率极值误差超过一定值时,将对薄膜光学特性产生重要影响。
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  • 刊出日期:  2005-06-15

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