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光斑尺寸对光学薄膜元件温升的影响

代福 熊胜明

代福, 熊胜明. 光斑尺寸对光学薄膜元件温升的影响[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19(12).
引用本文: 代福, 熊胜明. 光斑尺寸对光学薄膜元件温升的影响[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19(12).
dai fu, xiong sheng-ming. Laser beam diameter effect on temperature rise of films[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19.
Citation: dai fu, xiong sheng-ming. Laser beam diameter effect on temperature rise of films[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19.

光斑尺寸对光学薄膜元件温升的影响

Laser beam diameter effect on temperature rise of films

  • 摘要: 实验测量了波长1 064 nm, 10 kHz高重复频率激光辐照下在白宝石、石英玻璃、K9基片上制备的Ta2O5/SiO2高反膜的温度变化,有限元分析的结果与实验结果相一致。用ANSYS程序计算了不同光斑直径、相同功率激光和相同功率密度激光辐照下薄膜元件温升的变化。结果表明:相同功率激光辐照光学薄膜元件时,光斑大小只影响激光辐照点的温升,对基板温升没有影响。基板温升只与激光功率有关,激光功率越大,基板温升越大。相同功率密度激光辐照光学薄膜元件时,光斑越大,激光辐照点温度及基板温度均越高。从激光损伤的热效应考虑,小光斑激光辐照时,光学薄膜的激光损伤阈值较高。
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出版历程
  • 刊出日期:  2007-12-15

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