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用金刚石车削技术制备EOS实验用铝薄膜和铜薄膜

谢军 黄燕华 杜凯 袁光辉

谢军, 黄燕华, 杜凯, 等. 用金刚石车削技术制备EOS实验用铝薄膜和铜薄膜[J]. 强激光与粒子束, 2006, 18(03).
引用本文: 谢军, 黄燕华, 杜凯, 等. 用金刚石车削技术制备EOS实验用铝薄膜和铜薄膜[J]. 强激光与粒子束, 2006, 18(03).
xie jun, huang yan-hua, du kai, et al. Fabrication process of aluminum film and copper film used in EOS experiment by diamond turning technology[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2006, 18.
Citation: xie jun, huang yan-hua, du kai, et al. Fabrication process of aluminum film and copper film used in EOS experiment by diamond turning technology[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2006, 18.

用金刚石车削技术制备EOS实验用铝薄膜和铜薄膜

Fabrication process of aluminum film and copper film used in EOS experiment by diamond turning technology

  • 摘要: 具有材料理论密度的金属薄膜对于材料高压状态方程(EOS)研究而言具有重要的意义。本文提出采用金刚石车削技术,利用超精密金刚石车床、金刚石圆弧刀具及真空吸附夹持技术,对纯铝和无氧铜进行端面车削,完成了EOS实验用铝薄膜和铜薄膜的车削加工,实现了薄膜密度接近材料理论密度。精加工工艺参数为:进给量0.001 mm/r,主轴转速3000 r/min,切削深度1 μm。采用Form Talysurf series 2型触针式轮廓仪进行测量,结果表明:铝薄膜、铜薄膜厚度可以达到小于10 μm水平,表面均方根粗糙度小于5 nm,原始最大轮廓峰-谷高度小于50 nm,厚度一致性好于99%。
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  • 刊出日期:  2006-03-15

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