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微加工薄膜变形镜本征模分析

李恩德 戴云 王海英 张雨东

李恩德, 戴云, 王海英, 等. 微加工薄膜变形镜本征模分析[J]. 强激光与粒子束, 2006, 18(08).
引用本文: 李恩德, 戴云, 王海英, 等. 微加工薄膜变形镜本征模分析[J]. 强激光与粒子束, 2006, 18(08).
li en-de, dai yun, wang hai-ying, et al. Eigen mode of micromachined membrane deformable mirror[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2006, 18.
Citation: li en-de, dai yun, wang hai-ying, et al. Eigen mode of micromachined membrane deformable mirror[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2006, 18.

微加工薄膜变形镜本征模分析

Eigen mode of micromachined membrane deformable mirror

  • 摘要: 介绍了变形镜本征模的构造过程及其特点,分析了从荷兰OKO公司购买的37单元微加工薄膜变形镜的本征模,并用前65阶Zernike多项式分析微加工薄膜变形镜的37阶本征模的特性。搭建了以微加工薄膜变形镜作为波前校正器、变形镜本征模为波前复原控制算法以及高分辨率Shack-Hartmann波前传感器为波前探测器的自适应光学实验系统。实验结果表明:变形镜本征模可以实现模式筛选,也可作为自适应光学系统的波前复原算法。
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出版历程
  • 刊出日期:  2006-08-15

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