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溶胶-凝胶工艺制备SiO2薄膜的结构控制和稳定性研究

肖轶群 谢志勇 沈军 周斌 吴广明

肖轶群, 谢志勇, 沈军, 等. 溶胶-凝胶工艺制备SiO2薄膜的结构控制和稳定性研究[J]. 强激光与粒子束, 2006, 18(08).
引用本文: 肖轶群, 谢志勇, 沈军, 等. 溶胶-凝胶工艺制备SiO2薄膜的结构控制和稳定性研究[J]. 强激光与粒子束, 2006, 18(08).
xiao yi-qun, xie zhi-yong, shen jun, et al. Structure control and stability in preparation of silica film via Sol-Gel process[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2006, 18.
Citation: xiao yi-qun, xie zhi-yong, shen jun, et al. Structure control and stability in preparation of silica film via Sol-Gel process[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2006, 18.

溶胶-凝胶工艺制备SiO2薄膜的结构控制和稳定性研究

Structure control and stability in preparation of silica film via Sol-Gel process

  • 摘要: 采用溶胶-凝胶工艺在酸性、碱性和碱/酸两步催化条件下制备纳米多孔结构的SiO2薄膜。使用透射电子显微镜(TEM)、激光粒子分析仪测试了溶胶的微观结构和颗粒分布;使用反射式扫描椭偏仪、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)测试了薄膜的光学性能和微观形貌。结果表明:通过改变溶胶-凝胶过程中的催化条件可控制薄膜微观结构和光学性能。溶胶在长期存贮期间符合镀膜的稳定性要求。
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出版历程
  • 刊出日期:  2006-08-15

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