留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

溶胶-凝胶工艺制备SiO2薄膜的结构控制和稳定性研究

肖轶群 谢志勇 沈军 周斌 吴广明

肖轶群, 谢志勇, 沈军, 等. 溶胶-凝胶工艺制备SiO2薄膜的结构控制和稳定性研究[J]. 强激光与粒子束, 2006, 18(08).
引用本文: 肖轶群, 谢志勇, 沈军, 等. 溶胶-凝胶工艺制备SiO2薄膜的结构控制和稳定性研究[J]. 强激光与粒子束, 2006, 18(08).
xiao yi-qun, xie zhi-yong, shen jun, et al. Structure control and stability in preparation of silica film via Sol-Gel process[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2006, 18.
Citation: xiao yi-qun, xie zhi-yong, shen jun, et al. Structure control and stability in preparation of silica film via Sol-Gel process[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2006, 18.

溶胶-凝胶工艺制备SiO2薄膜的结构控制和稳定性研究

Structure control and stability in preparation of silica film via Sol-Gel process

  • 摘要: 采用溶胶-凝胶工艺在酸性、碱性和碱/酸两步催化条件下制备纳米多孔结构的SiO2薄膜。使用透射电子显微镜(TEM)、激光粒子分析仪测试了溶胶的微观结构和颗粒分布;使用反射式扫描椭偏仪、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)测试了薄膜的光学性能和微观形貌。结果表明:通过改变溶胶-凝胶过程中的催化条件可控制薄膜微观结构和光学性能。溶胶在长期存贮期间符合镀膜的稳定性要求。
  • 加载中
计量
  • 文章访问数:  2262
  • HTML全文浏览量:  256
  • PDF下载量:  516
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 刊出日期:  2006-08-15

目录

    /

    返回文章
    返回