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大口径元件反射率的镜面扫描精密测量系统

易亨瑜 彭勇 胡晓阳 王耀梅 王文东 周文超 郑为民 黄祖鑫 廖原

易亨瑜, 彭勇, 胡晓阳, 等. 大口径元件反射率的镜面扫描精密测量系统[J]. 强激光与粒子束, 2005, 17(11).
引用本文: 易亨瑜, 彭勇, 胡晓阳, 等. 大口径元件反射率的镜面扫描精密测量系统[J]. 强激光与粒子束, 2005, 17(11).
yi heng-yu, peng yong, hu xiao-yang, et al. Precise measurement system for reflectivity scanning of large aperture components[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2005, 17.
Citation: yi heng-yu, peng yong, hu xiao-yang, et al. Precise measurement system for reflectivity scanning of large aperture components[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2005, 17.

大口径元件反射率的镜面扫描精密测量系统

Precise measurement system for reflectivity scanning of large aperture components

  • 摘要: 为了测量高功率激光传输系统中大口径高反射率元件,研制了一种镜面扫描的精密测量系统。介绍了该系统的结构及其工作原理,分析了影响系统测量精度的因素,理论上估算的测量精度为2×10-5。在直腔下对该系统的性能进行了实验测试,分析表明,系统的测量不确定度优于2.052 28×10-5,最大测量误差为3.554 04×10-5,与理论预计结果吻合较好。对大口径元件进行的多次实验扫描测试,结果显示,镀膜加工误差导致反射率分布是关于镜面中心呈旋转对称。该系统的使用大大简化了元件表面反射率分布的测量。
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  • 刊出日期:  2005-11-25

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