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α-C:H膜表面形貌及光学性能的测试分析

刘兴华 吴卫东 何智兵 袁前飞 王红斌 蔡从中

刘兴华, 吴卫东, 何智兵, 等. α-C:H膜表面形貌及光学性能的测试分析[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19(11).
引用本文: 刘兴华, 吴卫东, 何智兵, 等. α-C:H膜表面形貌及光学性能的测试分析[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19(11).
liu xing-hua, wu wei-dong, he zhi-bing, et al. Roughness and optical properties of α-C:H films[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19.
Citation: liu xing-hua, wu wei-dong, he zhi-bing, et al. Roughness and optical properties of α-C:H films[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19.

α-C:H膜表面形貌及光学性能的测试分析

Roughness and optical properties of α-C:H films

  • 摘要: 以H2和反式-2-丁烯(T2B)为工作气体,利用低压等离子体增强化学气相沉积法制备了α-C:H薄膜。采用原子力显微镜、扫描电镜测试了α-C:H薄膜的表面形貌,分析了实验参数对其形貌的影响。研究表明:固定压强(15 Pa),当T2B/H2流量比为4时,薄膜均方根粗糙度可达0.97 nm。保持T2B/H2流量比固定,增加工作气压,薄膜均方根粗糙度减小,表面更平整、致密。利用傅里叶变换红外光谱仪对薄膜价键结构进行分析,结果表明:α-C:H薄膜中主要存在sp3C—H键,氢含量较高;T2B/H2流量比越低,薄膜中含有更多的C=C键。应用UV-VIS光谱仪,获得了波长在200~1 100 nm范围内薄膜的光吸收特性,α-C:H薄膜透过率可达98%,计算得到的折射率在1.16~1.40。随工作气压的增加,α-C:H薄膜中sp3杂化键增多,透过率、折射率增大。
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出版历程
  • 刊出日期:  2007-11-15

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