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基底材料对磁控共溅射Al-Cu-Fe薄膜特性的影响

周细应 薛向融 徐洲

李洪涛. 特种电源专辑出版前言[J]. 强激光与粒子束, 2019, 31: 040000.
引用本文: 周细应, 薛向融, 徐洲. 基底材料对磁控共溅射Al-Cu-Fe薄膜特性的影响[J]. 强激光与粒子束, 2008, 20(10).
Li Hongtao. SpecialIssueon Special PowerSupply Introduction for Special Issue[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2019, 31: 040000.
Citation: zhou xi-ying, xue xiang-rong, xu zhou. Effect of substrates on characteristics of magneticco-sputtering Al-Cu-Fe thin films[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2008, 20.

基底材料对磁控共溅射Al-Cu-Fe薄膜特性的影响

Effect of substrates on characteristics of magneticco-sputtering Al-Cu-Fe thin films

  • 摘要: 采用磁控共溅射工艺来制备Al-Cu-Fe薄膜,选用抛光状态的纯Al、纯Cu和不同粗糙度的不锈钢基作为基底材料。通过原子力显微镜分析薄膜的表面形貌,利用扫描电镜能谱仪分析薄膜的元素含量;通过MTS纳米力学综合测试系统分析薄膜的结合强度和摩擦因数。分析结果表明:不锈钢作为基底材料的薄膜与基体的结合强度最大,其次为纯铝和纯铜。纯铜基底薄膜的摩擦因数最大,达到0.17,其余两种薄膜的摩擦因数均不大于0.03。而薄膜表面形貌与基底材料的原始形貌有直接的联系,基底原始粗糙度越小,薄膜的表面组织也越细;基底原始粗糙度越大,薄膜表面形成的晶粒的团聚越明显。
  • 特种电源是为满足科研、工程等领域特殊负载或特殊应用需求设计研发的电源。特种电源技术研究是电源技术研究领域中与应用目标耦合度较高的一个研究方向,由于应用目标的多样性,使得其技术研究工作富有创新活力,也使其对相关学科的新技术较为敏感。上个世纪中叶,随着雷达、加速器等军事、科研装备、设施的发展,特种电源逐步受到各军事、科技强国的重视。近30年来,在众多从事特种电源技术研究和产品开发的同仁共同努力下,我国特种电源技术研究取得长足进步,产品研制能力也得到了大幅度提升。

    近年来,在科技创新、军民融合的时代背景下,特种电源技术已成为新的科学前沿。各个领域对特种电源的需求日趋旺盛,大型科学实验装置、国家重大工业设备研发计划也给与特种电源技术强大的驱动力,特种电源技术研究和产业发展进入快车道。

    特种电源专业委员会是中国电源学会下属的二级学会,成立35年来,在各位委员及相关单位的支持下,特种电源专委会作为学术团体在推动行业技术进步、促进产业健康发展方面发挥了积极作用,专委会团结国内各科研院所、学术团体和企业厂商,凝聚优势,大力推进军民融合,改进团体结构,积极提倡产、研、学、用相结合,促进科学普及与技术发展。

    2018年9月,特种电源专委会在云南省昆明市召开第七届全国特种电源学术交流会,来自50多个科研院所、大学、企业的逾150名代表参加学术交流,参会论文逾110余篇。中国电源学会张磊秘书长莅临指导。在第七届特种电源专委会主任委员史平君研究员的主持下,参会代表围绕特种电源及其相关领域的技术研究进展展开热烈讨论。会议报告和论文反映出近年来国内特种电源电路拓扑结构与仿真、关键器件、控制技术、系统设计和应用技术等多个方面均取得了巨大进步。会议评选出十篇优秀论文以鼓励特别优秀的特种电源技术研究人员,尤其是创新贡献突出的青年人才。在闭幕式上,第八届特种电源专委会主任委员邓建军院士发表了热情洋溢的讲话,他鼓励大家积极参与国家军民融合发展战略,抓住特种电源的发展机遇,勇于创新,推进特种电源技术的进步,促进产业发展,祝愿特种电源事业蒸蒸日上。

    第七届全国特种电源学术交流会得到《强激光与粒子束》《电源学报》媒体的大力支持,特此感谢。

    为更好促进特种电源领域的学术交流,更广泛地向广大科技工作者推介特种电源技术的新进展,分享特种电源技术研究取得的新成果,《强激光与粒子束》编辑部特地为本次会议出版了一期“特种电源”专辑。本专辑收录了本次会议的部分特邀报告、专家报告、优秀论文,以及特种电源电路拓扑及仿真、功率器件、控制技术及电磁兼容技术、高功率脉冲电源技术主题有代表性的共23篇论文。

    特邀客座主编:李洪涛

    2019年4月

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  • 刊出日期:  2008-10-15

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