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正入射软X-射线显微成像系统聚光镜设计

王占山 曹健林 陈星旦

王占山, 曹健林, 陈星旦. 正入射软X-射线显微成像系统聚光镜设计[J]. 强激光与粒子束, 1998, 10(01).
引用本文: 王占山, 曹健林, 陈星旦. 正入射软X-射线显微成像系统聚光镜设计[J]. 强激光与粒子束, 1998, 10(01).
wang zhanshan, cao jianlin, chen xingdan. DESIGN OF THE CONDENSER FOR SOFT X RAY NORMAL INCIDENCE MICROSOPIC OPTICS[J]. High Power Laser and Particle Beams, 1998, 10.
Citation: wang zhanshan, cao jianlin, chen xingdan. DESIGN OF THE CONDENSER FOR SOFT X RAY NORMAL INCIDENCE MICROSOPIC OPTICS[J]. High Power Laser and Particle Beams, 1998, 10.

正入射软X-射线显微成像系统聚光镜设计

DESIGN OF THE CONDENSER FOR SOFT X RAY NORMAL INCIDENCE MICROSOPIC OPTICS

  • 摘要: 依据正入射软X 射线显微成像系统对聚光镜的要求, 论述了采用掠入射聚光镜是最佳选择。在分析聚光镜几何参数的基础上, 决定了确定椭球面聚光镜的方法。在考虑材料反射特性和实际制作椭球面镜方法的同时, 确定了要研制的高分辨率显微成像系统用聚光镜的结构参数。
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出版历程
  • 刊出日期:  1998-01-15

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