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基于辅助光学系统的KB显微镜瞄准方法

黄圣铃 穆宝忠 伊圣振 王新 王占山 丁永坤 缪文勇 董建军

黄圣铃, 穆宝忠, 伊圣振, 等. 基于辅助光学系统的KB显微镜瞄准方法[J]. 强激光与粒子束, 2009, 21(06).
引用本文: 黄圣铃, 穆宝忠, 伊圣振, 等. 基于辅助光学系统的KB显微镜瞄准方法[J]. 强激光与粒子束, 2009, 21(06).
huang shengling, mu baozhong, yi shengzhen, et al. Aiming of Kirkpatrick-Baez microscope based on auxiliary optical system[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2009, 21.
Citation: huang shengling, mu baozhong, yi shengzhen, et al. Aiming of Kirkpatrick-Baez microscope based on auxiliary optical system[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2009, 21.

基于辅助光学系统的KB显微镜瞄准方法

Aiming of Kirkpatrick-Baez microscope based on auxiliary optical system

  • 摘要: 研究了利用辅助可见光系统精确瞄准KB显微镜物点的方法。设计了工作能点8 keV的周期多层膜KB显微镜系统,通过光线追迹和X射线成像实验,得到5 μm空间分辨率所对应的视场和景深,进而计算出诊断实验对应的指向和景深要求。基于KB系统的物像关系和精度要求,设计了辅助的可见光成像系统,实现了可见光系统与X射线KB系统间的等效瞄准,利用耦合好的系统进行了瞄准和X射线成像实验。实验结果表明:辅助光路可以实现±20 μm的垂轴面和±300 μm的轴向定位精度,满足KB显微镜的瞄准要求。
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出版历程
  • 刊出日期:  2009-06-15

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