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基于高分辨力CCD的大口径光学元件疵病检测

程晓锋 徐旭 张林 贺群 袁晓东 蒋晓东 郑万国

程晓锋, 徐旭, 张林, 等. 基于高分辨力CCD的大口径光学元件疵病检测[J]. 强激光与粒子束, 2009, 21(11).
引用本文: 程晓锋, 徐旭, 张林, 等. 基于高分辨力CCD的大口径光学元件疵病检测[J]. 强激光与粒子束, 2009, 21(11).
cheng xiaofeng, xu xu, zhang lin, et al. Defect testing of large aperture optics based on high resolution CCD camera[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2009, 21.
Citation: cheng xiaofeng, xu xu, zhang lin, et al. Defect testing of large aperture optics based on high resolution CCD camera[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2009, 21.

基于高分辨力CCD的大口径光学元件疵病检测

Defect testing of large aperture optics based on high resolution CCD camera

  • 摘要: 介绍了一种利用高分辨力CCD快速检测大口径光学元件表面和体内疵病的方法。利用侧照明方式对大口径光学元件进行均匀掠射照明,表面和体内疵病因为散射在暗室成像过程中影像被放大。对比研究了疵病示踪尺寸和真实尺寸,得出近似数学关系,利用高分辨力CCD,通过一次性成像获得光学元件疵病尺寸近似值、2维空间位置等定量描述表面特征的信息。
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  • 刊出日期:  2009-11-15

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