周期多层膜Kirkpatrick-Baez显微镜成像性质分析

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周期多层膜Kirkpatrick-Baez显微镜成像性质分析

伊圣振, 穆宝忠, 王新, 黄圣铃, 朱京涛, 王占山, 丁永坤, 缪文勇, 董建军

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伊圣振, 穆宝忠, 王新, 等. 周期多层膜Kirkpatrick-Baez显微镜成像性质分析[J]. 强激光与粒子束, 2009, 21(11).

引用本文:

伊圣振, 穆宝忠, 王新, 等. 周期多层膜Kirkpatrick-Baez显微镜成像性质分析[J]. 强激光与粒子束, 2009, 21(11).

yi shengzhen, mu baozhong, wang xin, et al. Imaging characteristic analysis of Kirkpatrick-Baezmicroscope with periodic multilayer[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2009, 21.

Citation:

yi shengzhen, mu baozhong, wang xin, et al. Imaging characteristic analysis of Kirkpatrick-Baezmicroscope with periodic multilayer[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2009, 21.

伊圣振, 穆宝忠, 王新, 等. 周期多层膜Kirkpatrick-Baez显微镜成像性质分析[J]. 强激光与粒子束, 2009, 21(11).

引用本文:

伊圣振, 穆宝忠, 王新, 等. 周期多层膜Kirkpatrick-Baez显微镜成像性质分析[J]. 强激光与粒子束, 2009, 21(11).

yi shengzhen, mu baozhong, wang xin, et al. Imaging characteristic analysis of Kirkpatrick-Baezmicroscope with periodic multilayer[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2009, 21.

Citation:

yi shengzhen, mu baozhong, wang xin, et al. Imaging characteristic analysis of Kirkpatrick-Baezmicroscope with periodic multilayer[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2009, 21.

周期多层膜Kirkpatrick-Baez显微镜成像性质分析

1.
同济大学精密光学工程技术研究所, 上海 200092;
2.
中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 四川绵阳 621 900

计量
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出版历程
- 刊出日期: 2009-11-15

Imaging characteristic analysis of Kirkpatrick-Baezmicroscope with periodic multilayer

1.
Institute of Precision Optical Engineering,Department of Physics,Tongji University,Shanghai 200092,China;
2.
Research Center of Laser Fusion,CAEP,P.O.Box 919-988,Mianyang 621900,China

摘要: 分析了Kirkpatrick-Baez（KB）显微镜的成像性质与周期多层膜元件间的关系。基于分辨力和集光效率要求，设计了KB显微镜的光学结构，模拟了KB系统的成像质量，用W/B4C周期多层膜反射镜进行了X射线成像实验，在±100 μm视场内得到优于5 μm的空间分辨力结果。实验与模拟结果的对比表明，加工精度和球差是影响中心视场分辨力的关键因素，有效视场的大小受多层膜角度带宽的限制。
- Kirkpatrick-Baez显微镜 /
- X射线成像 /
- 周期多层膜 /
- 像质
Abstract: Relation between imaging characteristic of Kirkpatrick-Baez(KB) microscope and periodic multilayer films is analyzed. The optical structure of KB microscope is designed based on resolution and collection efficiency requirements. Imaging quality is simulated, and 8 keV X-ray imaging experiment by KB microscope with W/B4C periodic multilayer is performed, the resolution is about 2 μm in central field and better than 5 μm in ±100 μm field. The result comparison between simulation and experiment shows spherical aberration and mirror machining precision are the key factors influencing the resolution of central field, and the range of effective field of view is limited by angle bandwidth of periodic multilayer.
- kirkpatrick-baez microscope /
- x-ray imaging /
- periodic multilayer /
- imaging characteristic

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