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被动半刚性磨盘在平滑中频误差中的应用

汉语 伍凡 万勇建 房凯

汉语, 伍凡, 万勇建, 等. 被动半刚性磨盘在平滑中频误差中的应用[J]. 强激光与粒子束, 2010, 22(02).
引用本文: 汉语, 伍凡, 万勇建, 等. 被动半刚性磨盘在平滑中频误差中的应用[J]. 强激光与粒子束, 2010, 22(02).
han yu, wu fan, wan yongjian, et al. Research on mid-frequency errors smoothing with a passive semi-rigid lap[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2010, 22.
Citation: han yu, wu fan, wan yongjian, et al. Research on mid-frequency errors smoothing with a passive semi-rigid lap[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2010, 22.

被动半刚性磨盘在平滑中频误差中的应用

Research on mid-frequency errors smoothing with a passive semi-rigid lap

  • 摘要: 介绍了一种去除中频误差的有效工具--被动半刚性磨盘。被动半刚性磨盘由刚性基底、变形层、薄板层以及抛光层组成。这种特殊的夹层式结构使磨盘在平滑过程中具有高通滤波特性,因而能够有效去除中频误差。基于弹性力学和滤波器理论,分析了被动半钢性磨盘的平滑机理,讨论了磨盘基本参数和误差频率之间的相互关系。以一块表面具有明显中频误差的抛物面镜为实验件,对被动半刚性磨盘的平滑能力进行验证,经过2个周期(共计75 min)的平滑后,中频误差得到了有效抑制。
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出版历程
  • 刊出日期:  2010-02-15

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