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多层膜界面结构探测技术

赵松楠 吕海兵 王韬 袁晓东 郑万国

赵松楠, 吕海兵, 王韬, 等. 多层膜界面结构探测技术[J]. 强激光与粒子束, 2010, 22(02).
引用本文: 赵松楠, 吕海兵, 王韬, 等. 多层膜界面结构探测技术[J]. 强激光与粒子束, 2010, 22(02).
zhao songnan, lü haibing, wang tao, et al. Detection of multi-layer interface structure[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2010, 22.
Citation: zhao songnan, lü haibing, wang tao, et al. Detection of multi-layer interface structure[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2010, 22.

多层膜界面结构探测技术

Detection of multi-layer interface structure

  • 摘要: 分别以丙醇锆和正硅酸乙酯为原料,采用溶胶-凝胶工艺制备了性能稳定的ZrO2和SiO2溶胶。用旋转镀膜法在K9玻璃上分别制备了SiO2单层膜、ZrO2单层膜和ZrO2/SiO2/ZrO2三层膜。采用椭偏仪测量薄膜的厚度与折射率,用紫外-可见分光光度计测量了薄膜的透过率,利用TFCalc_Demo模系设计软件,采用三层理论模型对薄膜的透过率进行模拟,用扫描电镜(SEM)观察了三层膜的断面结构,用X射线光电子能谱仪(XPS)测量了薄膜的成分随深度方向的变化,进一步验证了ZrO2/SiO2/ZrO2三层膜之间的渗透关系,同时对多层膜的界面结构探测方法起到了借鉴作用。
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出版历程
  • 刊出日期:  2010-02-15

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