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高功率激光宽光谱减反膜的溶胶-凝胶旋转法制备工艺

魏芸 吕海兵 蒋晓东 唐灿 任寰 李珂

魏芸, 吕海兵, 蒋晓东, 等. 高功率激光宽光谱减反膜的溶胶-凝胶旋转法制备工艺[J]. 强激光与粒子束, 2003, 15(07).
引用本文: 魏芸, 吕海兵, 蒋晓东, 等. 高功率激光宽光谱减反膜的溶胶-凝胶旋转法制备工艺[J]. 强激光与粒子束, 2003, 15(07).
wei yun, hai-bing, jiang xiao-dong, et al. Fabrication of broadband antireflective films by sol-gel spincoating process for high power lasers[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2003, 15.
Citation: wei yun, hai-bing, jiang xiao-dong, et al. Fabrication of broadband antireflective films by sol-gel spincoating process for high power lasers[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2003, 15.

高功率激光宽光谱减反膜的溶胶-凝胶旋转法制备工艺

Fabrication of broadband antireflective films by sol-gel spincoating process for high power lasers

  • 摘要: 采用溶胶-凝胶法用旋转镀膜工艺在K9玻璃基片上制备出了SiO2和有机硅单层减反膜以及有机硅-SiO2双层减反膜。考察了旋转速度对SiO2和有机硅单层膜的中心透射波长、膜层折射率等基本光学性质的影响,实验确定了双层膜的涂敷工艺。透射光谱测量表明,采用本文工艺条件制备的有机硅SiO2双层膜在430~800nm范围内透射率达99%以上。
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出版历程
  • 刊出日期:  2003-07-15

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