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极板电压与间距对大气压射频氩等离子体放电参数的影响

庄娟 王德真 刘莉莹

庄娟, 王德真, 刘莉莹. 极板电压与间距对大气压射频氩等离子体放电参数的影响[J]. 强激光与粒子束, 2010, 22(12).
引用本文: 庄娟, 王德真, 刘莉莹. 极板电压与间距对大气压射频氩等离子体放电参数的影响[J]. 强激光与粒子束, 2010, 22(12).
zhuang juan, wang dezhen, liu liying. Effects of electrode voltage and gap on discharge in RF atmospheric pressure argon[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2010, 22.
Citation: zhuang juan, wang dezhen, liu liying. Effects of electrode voltage and gap on discharge in RF atmospheric pressure argon[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2010, 22.

极板电压与间距对大气压射频氩等离子体放电参数的影响

Effects of electrode voltage and gap on discharge in RF atmospheric pressure argon

  • 摘要: 基于1维流体力学模型,对大气压射频裸露金属电极氩气放电过程进行了研究。模型中考虑了氩等离子体放电过程中主要发生的激发和电离等7个反应过程,对等离子体反应产生的主要粒子,包括电子、氩原子离子Ar+、氩分子离子Ar2+和氩激发态Ar*等,建立连续性方程、动量方程和电流平衡方程。分析了极板电压、极板间距对上述粒子数密度分布的影响。给出了电子,Ar+,Ar*和Ar2+密度随极板电压及间距变化的时空演化过程。得出极板电压或极板间距的改变会使放电空间的电场发生改变,对应一定的极板间距,极板电压有一个最佳值,极板电压和间距的变化会使对应的极板间有一个最佳电场值,而对应最佳电场有一个等离子体气体间最佳反应系数,从而使放电空间粒子数密度发生改变。
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  • 刊出日期:  2010-12-07

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