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基于压力补偿原理的抛光面形快速收敛技术

谢瑞清 李亚国 陈贤华 黄浩 王健 许乔

谢瑞清, 李亚国, 陈贤华, 等. 基于压力补偿原理的抛光面形快速收敛技术[J]. 强激光与粒子束, 2011, 23(02).
引用本文: 谢瑞清, 李亚国, 陈贤华, 等. 基于压力补偿原理的抛光面形快速收敛技术[J]. 强激光与粒子束, 2011, 23(02).
xie ruiqing, li yaguo, chen xianhua, et al. Fast correcting technique of polishing surface form by pressure compensation[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2011, 23.
Citation: xie ruiqing, li yaguo, chen xianhua, et al. Fast correcting technique of polishing surface form by pressure compensation[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2011, 23.

基于压力补偿原理的抛光面形快速收敛技术

Fast correcting technique of polishing surface form by pressure compensation

  • 摘要: 为解决强激光系统中大口径光学元件抛光面形精度收敛困难的问题,提出了一种基于压力补偿原理的抛光面形快速收敛技术。利用独特的抛光垫修整技术,将抛光垫表面修整成特定形状,使工件与抛光垫的接触面产生不均匀的压力分布,并结合精确的抛光转速控制,以加快工件面形精度的收敛速度。实验结果表明,将抛光垫修整成微凸面形,可以有效避免抛光中元件过早塌边问题,能将大口径平面元件的初抛时间从数天缩短到6 h以内,元件面形精度提高到1个波长左右。
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  • 刊出日期:  2011-01-25

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