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等离子体诊断用18.2 nm Schwarzschild显微镜

王新 穆宝忠 黄怡 翟梓融 伊圣振 蒋励 朱京涛 王占山 刘红杰 曹磊峰 谷渝秋

邵士勇, 郝磊, 黄印博, 等. 长柱状气溶胶粒子的光散射特性[J]. 强激光与粒子束, 2008, 20(07).
引用本文: 王新, 穆宝忠, 黄怡, 等. 等离子体诊断用18.2 nm Schwarzschild显微镜[J]. 强激光与粒子束, 2011, 23(03).
shao shi-yong, hao lei, huang yin-bo, et al. Light scattering by prolate ice cylinder[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2008, 20.
Citation: wang xin, mu baozhong, huang yi, et al. 18.2 nm Schwarzschild microscope for plasma diagnosis[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2011, 23.

等离子体诊断用18.2 nm Schwarzschild显微镜

18.2 nm Schwarzschild microscope for plasma diagnosis

  • 摘要: 研制了用于超快激光等离子体诊断的Schwarzschild型正入射显微镜,该显微镜工作波长为18.2 nm,数值孔径为0.1,放大倍数为10。根据诊断要求设计了Schwarzschild物镜的光学结构,计算了物镜的光学传递函数,结果显示,设计的物镜在±1 mm视场范围内像方空间分辨力可达125 lp/mm。根据系统工作波长和光线在镜面的入射角度设计了Mo/Si周期多层膜反射镜,制作了Schwarzschild显微镜光学元件,镀制的膜系周期厚度为9.509 nm,周期数为30,对18.2 nm波长的反射率约31.1%。利用激光等离子体光源对24 lp/mm网格进行了成像实验,实验结果表明:系统在中心视场的分辨力为3 μm,600 μm内视场的分辨力为5 μm。
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  • 刊出日期:  2011-03-15

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