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复合样品厚度参数同步辐射测量方法

易荣清 崔延莉 王哲斌 赵屹东 郑雷 马陈燕

易荣清, 崔延莉, 王哲斌, 等. 复合样品厚度参数同步辐射测量方法[J]. 强激光与粒子束, 2011, 23(04).
引用本文: 易荣清, 崔延莉, 王哲斌, 等. 复合样品厚度参数同步辐射测量方法[J]. 强激光与粒子束, 2011, 23(04).
yi rongqing, cui yanli, wang zhebin, et al. Thickness measurement of complex sample with synchronous radiation[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2011, 23.
Citation: yi rongqing, cui yanli, wang zhebin, et al. Thickness measurement of complex sample with synchronous radiation[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2011, 23.

复合样品厚度参数同步辐射测量方法

Thickness measurement of complex sample with synchronous radiation

  • 摘要: 薄膜样品在实验研究领域要求样品的厚度测量精度非常高,但由于样品质量小,采用称重的方法,测量精度较差。在北京同步辐射装置的中能(4B7A)和低能(4B7B)束线上(光源能区为0.1~6.0 keV,能量分辨大于1 000),采用材料对单能光子的透过率来确定样品的质量厚度,通过不同能点的测量值进行不确定度分析,提高测量精度,降低不确定度。利用该方法开展了复合样品厚度的测量方法研究,给出了有CH衬底的薄膜样品的厚度,通过不确定度分析得出,薄膜样品厚度的测量不确定度小于1%。
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  • 刊出日期:  2011-04-14

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