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多层膜聚光镜对Schwarzschild显微镜成像均匀性的影响

王新 穆宝忠 黄怡 翟梓融 伊圣振 蒋励 朱京涛 王占山 刘红杰 曹磊峰 谷渝秋

王新, 穆宝忠, 黄怡, 等. 多层膜聚光镜对Schwarzschild显微镜成像均匀性的影响[J]. 强激光与粒子束, 2011, 23(05).
引用本文: 王新, 穆宝忠, 黄怡, 等. 多层膜聚光镜对Schwarzschild显微镜成像均匀性的影响[J]. 强激光与粒子束, 2011, 23(05).
wang xin, mu baozhong, huang yi, et al. Influence of multilayer films condenser on imaging uniformity of Schwarzschild microscope[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2011, 23.
Citation: wang xin, mu baozhong, huang yi, et al. Influence of multilayer films condenser on imaging uniformity of Schwarzschild microscope[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2011, 23.

多层膜聚光镜对Schwarzschild显微镜成像均匀性的影响

Influence of multilayer films condenser on imaging uniformity of Schwarzschild microscope

  • 摘要: 提出了利用多层膜聚光镜提高Schwarzschild显微镜成像均匀性的方法。设计了聚光镜的光学结构,使80%的等离子体辐射能量会聚在约0.8 mm直径的范围内。根据成像系统的工作波长和光线在聚光镜表面的入射角度,设计了Mo/Si周期多层膜,制备了聚光镜光学元件,膜层周期厚度为9.64 nm,周期数为30,对18.2 nm波长的峰值反射率为51.7%。利用所设计的聚光镜作为照明系统,对Schwarzschild物镜进行了网格成像实验。结果表明:在1.2 mm视场内可以实现2.5 μm的空间分辨力,并且完全消除了物镜中心遮拦所造成的像面光强分布不均匀性。
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出版历程
  • 刊出日期:  2011-05-11

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