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高精度2×2阵列拼接光栅结构设计

周忆 申超 张军伟 王逍 周海

周忆, 申超, 张军伟, 等. 高精度2×2阵列拼接光栅结构设计[J]. 强激光与粒子束, 2011, 23(07).
引用本文: 周忆, 申超, 张军伟, 等. 高精度2×2阵列拼接光栅结构设计[J]. 强激光与粒子束, 2011, 23(07).
zhou yi, shen chao, zhang junwei, et al. Structure design of high accuracy 2×2 array grating[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2011, 23.
Citation: zhou yi, shen chao, zhang junwei, et al. Structure design of high accuracy 2×2 array grating[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2011, 23.

高精度2×2阵列拼接光栅结构设计

Structure design of high accuracy 2×2 array grating

  • 摘要: 提出了一种大口径高精度2×2阵列光栅拼接结构,采用模块化和框架式结构设计,保证拼接结构的稳定性;设计了差动螺纹微调组件与压电驱动器相结合的微纳调整组件结构,实现拼接光栅微纳量级的调整要求;讨论了关键组件的设计和制造问题。设计制造的2×2阵列光栅实验样机的最大相对共面误差为17 μm,微纳调整组件的最小调整精度可以达到1.8 nm,分辨力为0.9 nm,初步光路实验表明,设计的拼接调整机构可以快速实时地调整2×2阵列光栅达到要求的精度,且稳定时间大于1 h。
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  • 刊出日期:  2011-07-21

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