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KBA X射线显微镜分辨力模型

赵玲玲 胡家升 孙德林 王刚

赵玲玲, 胡家升, 孙德林, 等. KBA X射线显微镜分辨力模型[J]. 强激光与粒子束, 2011, 23(10).
引用本文: 赵玲玲, 胡家升, 孙德林, 等. KBA X射线显微镜分辨力模型[J]. 强激光与粒子束, 2011, 23(10).
zhao lingling, hu jiasheng, sun delin, et al. Resolution model of KBA X-ray microscope[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2011, 23.
Citation: zhao lingling, hu jiasheng, sun delin, et al. Resolution model of KBA X-ray microscope[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2011, 23.

KBA X射线显微镜分辨力模型

Resolution model of KBA X-ray microscope

  • 摘要: 综合考虑了几何像差、衍射效应和加工精度等因素对KBA X射线显微镜分辨力的影响,构建了分辨力模型。通过光线追迹模拟得到了不同视场位置的边缘响应函数,以20%~80%的评价标准确定了几何像差分辨力。由构建的空间分辨力模型得到理论分辨力。KBA X射线显微镜整个视场几何像差分辨力、理论分辨力和实测分辨力基本一致。用单层膜KBA 显微镜获得的X射线成像结果,得出中心视场的分辨力约为4 μm,±100 μm视场的分辨力优于5 μm。实验结果表明,几何像差对空间分辨力影响权重相对较大,是影响空间分辨力的决定性因素,其它因素的影响相对较小。
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出版历程
  • 刊出日期:  2011-10-15

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