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色分离光栅镀膜减反技术研究

杨春林 许乔 杨李茗 周礼书 张清华

杨春林, 许乔, 杨李茗, 等. 色分离光栅镀膜减反技术研究[J]. 强激光与粒子束, 2004, 16(02).
引用本文: 杨春林, 许乔, 杨李茗, 等. 色分离光栅镀膜减反技术研究[J]. 强激光与粒子束, 2004, 16(02).
yang chun-lin, xu qiao, yang li-ming, et al. Study on the anti-reflection technology of color separate gratings[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2004, 16.
Citation: yang chun-lin, xu qiao, yang li-ming, et al. Study on the anti-reflection technology of color separate gratings[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2004, 16.

色分离光栅镀膜减反技术研究

Study on the anti-reflection technology of color separate gratings

  • 摘要: 根据惯性约束聚变系统技术要求,提出一种镀膜减反方案,以解决现有光栅由于元件表面反射影响衍射效率的问题。对色分离光栅镀膜减反技术进行了详细的分析,根据标量理论给出了镀膜光栅的各项技术要求,优化了光栅结构参数。模拟计算结果发现,光栅表面反射几乎完全消除,表明可以通过色分离光栅镀膜减反提高衍射效率的目的。该镀膜光栅刻槽深度的优化值为2.84μm,膜厚为等效1/4波长,即71.2nm。
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出版历程
  • 刊出日期:  2004-02-15

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