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能动反射镜低频像差补偿能力分析

杨李成 凌宁 曾志革

杨李成, 凌宁, 曾志革. 能动反射镜低频像差补偿能力分析[J]. 强激光与粒子束, 2004, 16(07).
引用本文: 杨李成, 凌宁, 曾志革. 能动反射镜低频像差补偿能力分析[J]. 强激光与粒子束, 2004, 16(07).
yang li-cheng, ling ning, zeng zhi-ge. Analysis on compensating capabilities of the low frequency aberrations for active deformable mirror[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2004, 16.
Citation: yang li-cheng, ling ning, zeng zhi-ge. Analysis on compensating capabilities of the low frequency aberrations for active deformable mirror[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2004, 16.

能动反射镜低频像差补偿能力分析

Analysis on compensating capabilities of the low frequency aberrations for active deformable mirror

  • 摘要: 采用Algor软件包并利用有限元法对37单元能动反射镜低频误差补偿能力进行了分析计算,确定了镜面厚度8mm,驱动器间距46mm,极头直径12mm等能动反射镜制造的关键参数。通过计算机仿真分析证明,基于这些参数所设计的能动反射镜可以对低频误差进行有效校正,校正精度的均方根值小于等于λ/8,从而可以为能动反射镜的制造提供理论依据。
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出版历程
  • 刊出日期:  2004-07-15

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