留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

准分子激光的光束波面测量技术

叶震寰,  董景星,  魏运荣,  李红霞,  楼祺洪

downloadPDF
文章导航 > 强激光与粒子束  > 2004 >  16(05): 0-
叶震寰, 董景星, 魏运荣, 等. 准分子激光的光束波面测量技术[J]. 强激光与粒子束, 2004, 16(05).
引用本文: 叶震寰, 董景星, 魏运荣, 等. 准分子激光的光束波面测量技术[J]. 强激光与粒子束, 2004, 16(05).
shu
ye zhen-huan, dong jing-xing, wei yun-rong, et al. Beam profile diagnosis technology for excimer laser[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2004, 16.
Citation: ye zhen-huan, dong jing-xing, wei yun-rong, et al. Beam profile diagnosis technology for excimer laser[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2004, 16.
shu

准分子激光的光束波面测量技术

  • 1.

    中国科学院 上海光学精密机械研究所,上海 201 800;

  • 2.

    中国科学院 研究生院,北京 1 ０００３９

Beam profile diagnosis technology for excimer laser

  • 1.

    Shanghai Institute,Optics and Fine Mechanics,the Chinese Academy of Sciences,Shanghai 201800,China;

  • 2.

    Graduate School,the Chinese Academy of Sciences,Beijing 100039,China

    摘要
  • 摘要: 准分子激光在激光光刻和微细加工中有广泛的应用，要求激光具有好的稳定性和光束波面均匀性。介绍了准分子激光的波面特性以及波面分析测量技术。用波面分析仪对XeCl和ArF激光特性进行全面的测量和评估，给出了主要参数的测量结果，重点分析了光束均匀性。
    Abstract: As widely applied in laser lithography and laser micromachining, excimer laser should have high stability and uniformity of beam intensity profile. This paper introduces the beam profile characteristics of excimer lasers and the beam profilometry. Experimentally, beam intensity profile of a XeCl laser and an ArF laser were diagnosed and evaluated by employing a computer with beam profile analyzer. The beam uniformity were also emphatically measured and discussed.
    • HTML全文
    • 参考文献(0)
    • 相关文章
    • 施引文献
  • 资源附件(0)
  • 加载中
WeChat 点击查看大图
计量
  • 文章访问数:  2100
  • HTML全文浏览量:  260
  • PDF下载量:  480
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 刊出日期:  2004-05-15

目录

    /

    返回文章
    返回

    版权所有 © 2014 中国工程物理研究院科技信息中心 蜀ICP备11018116号-4

    通信地址: 四川省绵阳919信箱805分信箱 (621900)刊社地址: 四川省绵阳市游仙区科学城科技信息中心电话: 0816-2485753传真：0816-2483701Email：HPLPB@caep.cn

    本系统由 北京仁和汇智信息技术有限公司 开发 技术支持: info@rhhz.net   百度统计