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准分子激光光束均匀性的评价指标研究

李红霞 楼祺洪 叶震寰 董景星 魏运荣 凌磊

李红霞, 楼祺洪, 叶震寰, 等. 准分子激光光束均匀性的评价指标研究[J]. 强激光与粒子束, 2004, 16(06).
引用本文: 李红霞, 楼祺洪, 叶震寰, 等. 准分子激光光束均匀性的评价指标研究[J]. 强激光与粒子束, 2004, 16(06).
li hong-xia, lou qi-hong, ye zhen-huan, et al. Research on evaluating norm of excimer laser beam uniformity[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2004, 16.
Citation: li hong-xia, lou qi-hong, ye zhen-huan, et al. Research on evaluating norm of excimer laser beam uniformity[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2004, 16.

准分子激光光束均匀性的评价指标研究

Research on evaluating norm of excimer laser beam uniformity

  • 摘要: 详细研究了准分子激光光束均匀性的各项评价指标,加工窗口描述了加工任务本身对光束均匀度的要求;能量分数回答了具体加工窗口即均匀度要求下的能量利用率问题;平顶因子则描述了整个光斑能量分布范围内的均匀性问题。利用激光波面分析仪对不同均匀器所获得的均匀光束进行评价比较,蝇眼透镜均匀器能量利用率高,整个光斑内的均匀效果好,但最佳均匀截面的位置动态范围小;组合棱镜均匀器均匀截面动态范围大,但整体均匀效量较差。
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出版历程
  • 刊出日期:  2004-06-15

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