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分布式电极连续面型微变形反射镜力电耦合特性分析

刘彦 陈海清 余洪斌 吴鹏 向晓燕 杨国元

刘彦, 陈海清, 余洪斌, 等. 分布式电极连续面型微变形反射镜力电耦合特性分析[J]. 强激光与粒子束, 2006, 18(01).
引用本文: 刘彦, 陈海清, 余洪斌, 等. 分布式电极连续面型微变形反射镜力电耦合特性分析[J]. 强激光与粒子束, 2006, 18(01).
liu yan, chen hai-qing yu hong-bin, wu peng, et al. Electro-mechanical coupled analysis of continuous-membrane bulk-micromachined silicon deformable mirror[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2006, 18.
Citation: liu yan, chen hai-qing yu hong-bin, wu peng, et al. Electro-mechanical coupled analysis of continuous-membrane bulk-micromachined silicon deformable mirror[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2006, 18.

分布式电极连续面型微变形反射镜力电耦合特性分析

Electro-mechanical coupled analysis of continuous-membrane bulk-micromachined silicon deformable mirror

  • 摘要: 针对基于MEMS技术制造的连续面型薄膜微变形反射镜,从薄膜理论出发对其力电耦合变形特性进行理论分析,导出了镜面变形表达式。利用该式及响应频率表达式,定量分析了镜面相关尺寸参数对变形量的关系,为变形镜的结构设计提供了可靠的理论依据。结果表明,当镜面厚度为1 μm且与驱动电极间距20 μm时,对控制电压不超过120 V,响应频率大于50 kHz的应用场合,变形镜镜面半径应在2.1~13.8 mm之间进行选择。仿真结果显示,驱动电压较小时,镜面变形与驱动电压平方近似成线性关系。
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  • 刊出日期:  2006-01-15

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