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用于大激光工程污染控制的有效洁净度

刘勇 程晓锋 徐剑秋 穆全全 王海萍

刘勇, 程晓锋, 徐剑秋, 等. 用于大激光工程污染控制的有效洁净度[J]. 强激光与粒子束, 2014, 26: 111010. doi: 10.11884/HPLPB201426.111010
引用本文: 刘勇, 程晓锋, 徐剑秋, 等. 用于大激光工程污染控制的有效洁净度[J]. 强激光与粒子束, 2014, 26: 111010. doi: 10.11884/HPLPB201426.111010
Liu Yong, Cheng Xiaofeng, Xu Jianqiu, et al. Effective cleanliness in large laser contaminants control[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2014, 26: 111010. doi: 10.11884/HPLPB201426.111010
Citation: Liu Yong, Cheng Xiaofeng, Xu Jianqiu, et al. Effective cleanliness in large laser contaminants control[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2014, 26: 111010. doi: 10.11884/HPLPB201426.111010

用于大激光工程污染控制的有效洁净度

doi: 10.11884/HPLPB201426.111010
详细信息
    通讯作者:

    刘勇

Effective cleanliness in large laser contaminants control

  • 摘要: 从分子运动的角度,通过对不同分子沉降过程的量化计算,发现不同污染物沉降速率的差异,由此提出了一种包含污染物化学成分的有效洁净度的概念。有效洁净度从描述物质沉降过程的输运方程出发,通过计算不同理化性质的污染物分子沉降速率对不同污染物进行区分,并将该信息与原标准下的洁净度信息结合。使用美国国家标准与技术学会(NIST)数据库提供的数据代入有效洁净度理论,计算了几种主要污染物的有效洁净度数值,计算结果与法国LIL激光装置中有代表性的污染物的沉降速率及曝光后形成污染的程度进行了对比,与实验观测基本吻合。
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-04-17
  • 修回日期:  2014-08-25
  • 刊出日期:  2014-11-04

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