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极紫外光源锡液滴靶的检测研究

陈子琪,  王新兵,  左都罗,  陆培祥,  吴涛

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文章导航 > 强激光与粒子束  > 2014 >  26(12): 121005
陈子琪, 王新兵, 左都罗, 等. 极紫外光源锡液滴靶的检测研究[J]. 强激光与粒子束, 2014, 26: 121005. doi: 10.11884/HPLPB201426.121005
引用本文: 陈子琪, 王新兵, 左都罗, 等. 极紫外光源锡液滴靶的检测研究[J]. 强激光与粒子束, 2014, 26: 121005. doi: 10.11884/HPLPB201426.121005
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Chen Ziqi, Wang Xinbing, Zuo Duluo, et al. Detecting tin droplet used for EUV source[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2014, 26: 121005. doi: 10.11884/HPLPB201426.121005
Citation: Chen Ziqi, Wang Xinbing, Zuo Duluo, et al. Detecting tin droplet used for EUV source[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2014, 26: 121005. doi: 10.11884/HPLPB201426.121005
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极紫外光源锡液滴靶的检测研究

doi: 10.11884/HPLPB201426.121005
  • 1.

    华中科技大学 武汉光电国家实验室, 武汉 430074;

  • 2.

    武汉工程大学 理学院, 武汉 430205

详细信息
    通讯作者:

    陈子琪

Detecting tin droplet used for EUV source

  • 1.

    Wuhan National Laboratory for Optoelectronics,Huazhong University of Science and Technology,Wuhan 430074,China;

  • 2.

    School of Science,Wuhan Institute of Technology,Wuhan 430205,China

    摘要
  • 摘要: 采用正交放置的两路CCD，基于图像采集及处理的方法，建立了极紫外光源锡液滴靶发生装置的锡液滴检测系统，可以实时监测锡液滴的运动状态及稳定性。对本实验室频率为34 kHz的锡靶发生器产生的液滴进行了锡液滴监测实验。监测结果显示，锡液滴直径约为137 m，平均间距为375 m，稳定性较好，并对水平面上横向稳定性进行了分析。
    Abstract: A detecting system is set up based on image processing used for EUV source. The tin target motion and stability are displayed by image capturing and processing in real time. The system is tested when tin droplet is generated by the tin generator at 34 kHz. The result reveals that tin droplet size is close to 137 m, and the distance between every two drops is about 375 m. The lateral droplet stability is analyzed which contributes to laser produced plasma EUV source.
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-08-25
  • 修回日期:  2014-10-17
  • 刊出日期:  2014-12-16

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