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具有二氧化硅温度补偿层的薄膜体声波谐振器的建模与分析(英)

高杨 周斌 何移 何婉婧

张帆, 黄秀光, 舒桦, 等. 强激光加载铝材料动态损伤特性及其微介观结构观测[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27: 071006. doi: 10.11884/HPLPB201527.071006
引用本文: 高杨, 周斌, 何移, 等. 具有二氧化硅温度补偿层的薄膜体声波谐振器的建模与分析(英)[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27: 014103. doi: 10.11884/HPLPB201527.014103
Zhang Fan, Huang Xiuguang, Shu Hua, et al. Characteristics of dynamic fracture of aluminum and metallographic analysis of recovered samples in laser experiments[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2015, 27: 071006. doi: 10.11884/HPLPB201527.071006
Citation: Gao Yang, Zhou Bin, He Yi, et al. Modeling and simulation on film bulk acoustic resonator with silicon oxide temperature-compensated layer[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2015, 27: 014103. doi: 10.11884/HPLPB201527.014103

具有二氧化硅温度补偿层的薄膜体声波谐振器的建模与分析(英)

doi: 10.11884/HPLPB201527.014103
详细信息
    通讯作者:

    高杨

Modeling and simulation on film bulk acoustic resonator with silicon oxide temperature-compensated layer

  • 摘要: 薄膜体声波谐振器(FBAR)的谐振频率会受到外界环境温度的影响而产生漂移,对于FBAR滤波器而言,这种温度-频率漂移特性会导致其中心频率、插入损耗、带内纹波等性能发生变化,降低其在电学应用中的可靠性。应用ANSYS有限元分析软件,对一个典型Mo-AlN-Mo三层结构的FBAR进行了温度-频率漂移特性的仿真,得到其在[-50 ℃, 150 ℃]温度范围内的频率温度系数(TCF)约为-3510-6/℃。在FBAR叠层薄膜结构中添加了一层具有正温度系数的二氧化硅温度补偿层,分析了该补偿层厚度对FBAR的温度-频率漂移特性、谐振频率和机电耦合特性的影响。设计了具有一层二氧化硅温度补偿层的FBAR叠层,由Mo/AlN/SiO2/Mo多层薄膜构成,仿真得到其频率温度系数为0.87210-6/℃;与没有温度补偿层的FBAR相比,温度稳定性得以显著改善。关键词: Abstract: Key words:
  • 期刊类型引用(1)

    1. 殷松超,何璐,戴博,张大伟. 基于光时分复用技术的高速成像系统. 强激光与粒子束. 2017(05): 15-19 . 本站查看

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出版历程
  • 收稿日期:  2014-10-23
  • 修回日期:  2014-12-22
  • 刊出日期:  2015-01-20

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