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激光沉积大面积均匀薄膜数学模型与实验

陆益敏 王淑云 郭延龙 黄国俊 程勇 田方涛

陆益敏, 王淑云, 郭延龙, 等. 激光沉积大面积均匀薄膜数学模型与实验[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27: 071007. doi: 10.11884/HPLPB201527.071007
引用本文: 陆益敏, 王淑云, 郭延龙, 等. 激光沉积大面积均匀薄膜数学模型与实验[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27: 071007. doi: 10.11884/HPLPB201527.071007
Zhou Xiaokai, Tong Lili. Numerical simulation and experimental verification on the diffusion behavior of tritium in zirconium alloy cladding materials[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2021, 33: 036001. doi: 10.11884/HPLPB202133.200275
Citation: Lu Yimin, Wang Shuyun, Guo Yanlong, et al. Mathematical model and experiment for preparing uniform film by PLD on large surface[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2015, 27: 071007. doi: 10.11884/HPLPB201527.071007

激光沉积大面积均匀薄膜数学模型与实验

doi: 10.11884/HPLPB201527.071007
详细信息
    通讯作者:

    陆益敏

Mathematical model and experiment for preparing uniform film by PLD on large surface

  • 摘要: 由于激光烧蚀靶材产生的等离子体呈高斯分布,其中所包含粒子密度及性能的空间分布极不均匀,因此脉冲激光沉积法难以制备性能与膜厚均匀的大面积薄膜。提出并构建了衬底自转与一维变速平移机构,衬底匀速自转的同时,进行一维平移,越靠近等离子体中心平移速率越大、反之越小,达到均匀镀膜的目的;在此基础上建立了机构运动参数对膜厚影响的数学模型,通过仿真模拟分析关键参数对膜厚分布的影响;通过运动参数优化指导实验,最终获得了直径为200 mm、不均匀性不超过4%的大面积类金刚石膜,与仿真优化结果吻合。
  • 期刊类型引用(2)

    1. 周子凌,吴梦洁,谢锋,周湘艳. 核反应堆材料中氚渗透机制的研究现状. 国际放射医学核医学杂志. 2024(12): 765-773 . 百度学术
    2. 陈威虎,杨子辉,夏源,霍前超,王海霞,汪建业. 基于数据驱动的氚粒子扩散三维仿真系统. 计算机系统应用. 2022(01): 118-123 . 百度学术

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出版历程
  • 收稿日期:  2015-01-11
  • 修回日期:  2015-05-09
  • 刊出日期:  2015-06-23

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