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石英音叉温度频率特性的温度传感器(英)

徐军 刘春花 马静 李欣

徐军, 刘春花, 马静, 等. 石英音叉温度频率特性的温度传感器(英)[J]. 强激光与粒子束, 2016, 28: 064119. doi: 10.11884/HPLPB201628.064119
引用本文: 徐军, 刘春花, 马静, 等. 石英音叉温度频率特性的温度传感器(英)[J]. 强激光与粒子束, 2016, 28: 064119. doi: 10.11884/HPLPB201628.064119
Xu Jun, Liu Chunhua, Ma Jing, et al. Temperature-frequency characteristics of quartz tuning fork for temperature sensing[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2016, 28: 064119. doi: 10.11884/HPLPB201628.064119
Citation: Xu Jun, Liu Chunhua, Ma Jing, et al. Temperature-frequency characteristics of quartz tuning fork for temperature sensing[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2016, 28: 064119. doi: 10.11884/HPLPB201628.064119

石英音叉温度频率特性的温度传感器(英)

doi: 10.11884/HPLPB201628.064119

Temperature-frequency characteristics of quartz tuning fork for temperature sensing

  • 摘要: 提出了一种基于石英晶体温度频率特性的石英音叉微谐振式温度传感器。通过理论分析的方法对传感器进行设计,并采用有限元仿真对传感器的结构参数进行优化。采用光刻和蚀刻微加工技术制造石英音叉谐振器,对石英音叉温度传感器样机的频率温度特性进行实验研究。实验结果表明:石英音叉温度传感器的标准谐振频率为36.545 kHz,灵敏度为-1.9 Hz/℃,在-20到100 ℃的温度范围内,其非线性误差小于0.18%,迟滞为0.02%,与理论研究相吻合。该传感器具有高精度、高灵敏度、低功耗和低成本的特点,为高性能温度测量提供较好的解决方案。
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出版历程
  • 收稿日期:  2015-11-23
  • 修回日期:  2016-01-12
  • 刊出日期:  2016-06-15

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