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差分谐振式压力微传感器灵敏度匹配特性(英)

邢永豪 谢波 陈健 陈德勇 王军波

邢永豪, 谢波, 陈健, 等. 差分谐振式压力微传感器灵敏度匹配特性(英)[J]. 强激光与粒子束, 2016, 28: 064130. doi: 10.11884/HPLPB201628.064130
引用本文: 邢永豪, 谢波, 陈健, 等. 差分谐振式压力微传感器灵敏度匹配特性(英)[J]. 强激光与粒子束, 2016, 28: 064130. doi: 10.11884/HPLPB201628.064130
Xing Yonghao, Xie Bo, Chen Jian, et al. A differential resonant pressure micro sensor with identical sensitivity of two resonant beams[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2016, 28: 064130. doi: 10.11884/HPLPB201628.064130
Citation: Xing Yonghao, Xie Bo, Chen Jian, et al. A differential resonant pressure micro sensor with identical sensitivity of two resonant beams[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2016, 28: 064130. doi: 10.11884/HPLPB201628.064130

差分谐振式压力微传感器灵敏度匹配特性(英)

doi: 10.11884/HPLPB201628.064130

A differential resonant pressure micro sensor with identical sensitivity of two resonant beams

  • 摘要: 谐振式压力微传感器因其高精度、高稳定性及准数字输出等特性而广泛应用于气压监测、航空航天等领域。相较于其他结构,差分谐振式具有灵敏度高、线性度好及温度漂移小等优势。然而,要获得差分谐振式压力微传感器的最优性能,仍需解决差分谐振梁灵敏度不匹配的问题。在仿真与实验的基础上,对差分谐振式压力微传感器的灵敏度匹配特性进行了相关研究。根据研究结果,对传感器的结构参数进行了优化设计。两谐振梁的设计灵敏度为46 Hz/kP,实验结果显示中心梁的实际灵敏度为45 Hz/kPa,边梁的实际灵敏度为-44 Hz/kPa,差分输出的线性度高达0.999 999 9。
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出版历程
  • 收稿日期:  2016-01-11
  • 修回日期:  2016-02-24
  • 刊出日期:  2016-06-15

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