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S波段窄带带通体声波滤波器设计

高杨 赵坤丽 韩超

吴敏干, 刘毅, 林福昌, 等. 液电脉冲激波特性分析[J]. 强激光与粒子束, 2020, 32: 045002. doi: 10.11884/HPLPB202032.190356
引用本文: 高杨, 赵坤丽, 韩超. S波段窄带带通体声波滤波器设计[J]. 强激光与粒子束, 2017, 29: 114101. doi: 10.11884/HPLPB201729.170195
Wu Min’gan, Liu Yi, Lin Fuchang, et al. Characteristics analysis of electrohydraulic shockwave[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2020, 32: 045002. doi: 10.11884/HPLPB202032.190356
Citation: Gao Yang, Zhao Kunli, Han Chao. Design of S-band narrow-band bandpass bulk acoustic wave filter[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2017, 29: 114101. doi: 10.11884/HPLPB201729.170195

S波段窄带带通体声波滤波器设计

doi: 10.11884/HPLPB201729.170195

Design of S-band narrow-band bandpass bulk acoustic wave filter

  • 摘要: 针对无人机测控应用设计了一种S波段窄带带通体声波(BAW)滤波器,其技术指标为:中心频率2.46 GHz,带宽41 MHz,带内插损大于-3 dB,带内纹波小于1 dB,带外抑制小于-40 dB@2.385 GHz和2.506 GHz。采用Mason模型设计了BAW滤波器中各薄膜体声波谐振器(FBAR)的叠层结构;使用变迹法设计了各FBAR(电极)的形状;采用一种自行开发的自动布局方法得到紧凑的BAW滤波器布局;建立了BAW滤波器的声-电磁协同仿真模型,通过这种高保真的多物理场仿真方法对设计结果进行了性能验证。该设计流程是通用的,并且有两个特点:采用声-电磁协同仿真方法对设计阶段的BAW滤波器进行最终性能检验,可以及早发现并拒绝1D Mason模型过于乐观的设计;滤波器布局设计中采用了一种新的自动化布局方法,大大简化了在此阶段的反复尝试工作,也为声-电磁协同仿真模型输出了必需的面内结构信息。
  • 期刊类型引用(9)

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出版历程
  • 收稿日期:  2017-06-02
  • 修回日期:  2017-07-05
  • 刊出日期:  2017-11-15

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