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大口径非球面元件可控气囊抛光系统

潘日 杨炜 王振忠 郭隐彪 王健 钟波

潘日, 杨炜, 王振忠, 等. 大口径非球面元件可控气囊抛光系统[J]. 强激光与粒子束, 2012, 24: 1344-1348. doi: 10.3788/HPLPB20122406.1344
引用本文: 潘日, 杨炜, 王振忠, 等. 大口径非球面元件可控气囊抛光系统[J]. 强激光与粒子束, 2012, 24: 1344-1348. doi: 10.3788/HPLPB20122406.1344
Pan Ri, Yang Wei, Wang Zhenzhong, et al. Controlled bonnet polishing system for large aspheric lenses[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2012, 24: 1344-1348. doi: 10.3788/HPLPB20122406.1344
Citation: Pan Ri, Yang Wei, Wang Zhenzhong, et al. Controlled bonnet polishing system for large aspheric lenses[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2012, 24: 1344-1348. doi: 10.3788/HPLPB20122406.1344

大口径非球面元件可控气囊抛光系统

doi: 10.3788/HPLPB20122406.1344
基金项目: 

国家自然科学基金(51075343);福建省自然科学基金(2010J05122)

Controlled bonnet polishing system for large aspheric lenses

  • 摘要: 根据大口径非球面光学元件的实际加工需要,设计并制造可控气囊抛光系统,并对机构进行运动学仿真,仿真结果表明,气囊自转轴的运动空间可以满足大口径非球面光学元件的连续进动加工要求。为了证明所设计系统的可加工性,以直径320 mm的圆形平面光学元件进行加工实验。经过该气囊抛光工具24 h的抛光后,工件达到较好的面型精度,光学元件的表面粗糙度由0.272减小到0.068(=632.8 nm), PV值从1.671降低到0.905。对光学元件的实际加工实验结果表明:可控气囊抛光系统在加工过程中结构稳定性好,符合设计要求,可有效提高加工工件面型精度。
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出版历程
  • 收稿日期:  2011-11-23
  • 修回日期:  2012-01-16
  • 刊出日期:  2012-06-15

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